在化合物半导体薄膜材料的生产中, 电子级三甲基铝主要是作为化合物半导体沉积的铝源。 所以电子级三甲基铝可以用于生产发光二极管、 激光二极管、 晶体管高性能和高效率太阳能电池等电子产品。 当然,三甲基铝还可以用于硅半导体产业化学气相沉积过程中。三甲基铝属于易燃液体,遇到空气就会自然,而且遇水容易产生爆炸性反应,对人体有毒有害,拜恩检测作为专业电子化学品检测第三方机构,可提供电子级三甲基铝的检测服务。
电子级三甲基铝检测标准及项目
电子级三甲基铝检测标准为国家推荐标准,标准名称为 GB/T 36653-2018《 电子级三甲基铝》。 GB/T 36653-2018对三甲基铝的检测要求基本可以归结为三大项目,那就是三甲基铝的纯度、痕量金属元素的测定、氧和有机质的测定。其中痕量金属元素包括了银、铝、砷、硼、钡、铍、铋、钙、镉、钴、铬、铜、铁、锗、汞、镁、锰、镍、铅、硫、锑、硅、锡、锶、钛、钒、锌等。而三甲基铝的纯度要求精确到99.99995%的级别。
电子级三甲基铝检测方法
电子级三甲基铝的纯度检测是通过排除法来计算的,就是通过排除硅元素、铜元素、镁元素、锌元素、铁元素含量的万分比来获得最终的纯度。金属元素的检测主要使用电感耦合等离子体原子发射光谱法来进行测定。而有机杂质和氧,则通过低温超导傅里叶变换核磁共振来测定。
电子级三甲基铝形状表现为无色液体,带有强烈刺激性气味。如果与人体直接接触,会对皮肤、研究呼吸道产生强烈的刺激和腐蚀作用。因为属于高危易燃易爆化学品,所以三甲基铝的贮存运输,都需要特殊的钢瓶罐体来包装存放。
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