电子级磷酸属于电子化学品检测种类之一。在电子工业中，尤其是超大规模集成电路、大屏幕液晶显示屏等微电子工业领域，电子用磷酸可以用于清洗和蚀刻等工艺的加工。可以说说磷酸的纯度、质量、指标等都直接关系到电子生产企业的产品成品率、电性能、可靠性，或者是屏幕最终的质量表现。拜恩检测工程师今天就为大家介绍一下电子级磷酸检测的相关知识。
一、电子级磷酸用途分析
1、用于基片涂胶前的清洗
2、用于光刻过程中的蚀刻及最终去胶；
3、用于硅片本身制作过程中的清洗及绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、 导体膜蚀刻、 有机材料蚀刻等
二、电子级磷酸制备工艺
1、用高纯磷制备电子级磷酸的工艺
2、用高纯三氯化磷制备电子级磷酸的工艺
3、用三氯氧磷制备电子级磷酸的工艺
三、电子级磷酸提纯工艺
化学沉淀法
有机溶剂萃取法
溶剂沉淀法
结晶法（冷冻结晶法、熔融结晶法）
浓缩净化法
离子交换法
电渗析法
四、电子级磷酸质量等级
E1为普通电子级磷酸
E2为高纯电子级磷酸
五、电子级磷酸检测标准
GB/T 28159-2011 电子级磷酸
六、电子级磷酸检测项目
1、磷酸质量分数检测
2、易氧化物质量分数检测
3、阴离子检测项目：硝酸盐含量、硫酸盐含量、氯化物含量
4、金属离子元素检测项目：铝、硼、锑、砷、钡、镉、钙、钴、铜、镓、金、铁、铅、锂、镁、锰、家、镍、银、钠、锡、锶、钛、锌
5、颗粒的测定
电子级磷酸检测项目较多，检测要求也极为严格，尤其是金属离子检测为痕量级，要求达到十亿分之一甚至万亿分之一级别。而相关检测项目需要涉及到电感耦合等离子质谱仪、电感耦合等离子发射光谱仪、离子色谱仪等设备的使用，而这些设备通常非常昂贵，所以委托第三方检测机构检测时，一定要了解其实技术储备及实验规模等情况。
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