化合物半导体薄膜材料对于半导体材料而言，是其重要的应用材料。众所周知，我国半导体行业技术一直受制于国外技术的封锁。而化合物半导体薄膜材料是超级计算机、红外探测仪、半导体激光器、太阳能电池、LED灯等等众多先进的电极级产品的器件制造原产品。所以，化合物半导体薄膜材料在半导体工业的地位，可见一般。而三甲基镓正是制造化合物半导体薄膜材料最重要的的金属有机化合物之一。
一、三甲基镓检测标准
在其工艺研发、上市销售、生产许可证审批、采购贸易等环节，都需要通过检测来评价其纯度或金属元素含量等关键性指标。国家对于用于电子级三甲基镓质量都有明确的标准规定，其标准号为GB/T 37007-2018《电子级三甲基镓》。该标准为国家推荐标准，适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法等化学工艺制造的三甲基镓。企业想要检测电子级三甲基镓，就可以委托第三检测机构根据GB/T 37007-2018中规定的检测项目来评价试验。
二、三甲基镓检测项目
评价三甲基镓质量最重要的检测指标就是纯度，在GB/T 37007-2018中三甲基镓的纯度质量分数的规定都精确到小数点后五位，具体指标为≥99.99995%。此外三甲基镓还需要检测28项金属元素及其他元素的含量。这28项金属元素检测项目主要为银、铝、砷、硼、钡、铍、铋、钙、镉、钴、铬、铜、铁、锗、汞、镁、锰、镍、铅、硫、锑、硅、锡、锶、钛、钒、锌、氧和有机杂质。
三、三甲基镓检测方法
三甲基镓纯度检测方法，其实通过排除法来计算取得的。也就是通过排除硅元素、铜元素、镁元素、锌元素、铁元素等的质量分数来获得最终纯度。三甲基镓检测金属元素的方法主要为电感耦合等离子体原子发射光谱法来测定。而其氧和有机杂质一项，则可以使用低温超导傅里叶变换核磁共振来进行测定。
以上就是三甲基镓检测的相关知识。半导体技术一直掣肘我国高科技发展的重要因素。三甲基镓质量检测的关键之处就是纯度的测定。提纯也是工艺提升的重要研究方向。检测可以帮助我们更好的了解金属元素比例，然后依此不断通过筛选、配合、解配、减压、蒸馏等等的一系列加工流程来优化提取三甲基镓的纯度。
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