洁净室温湿度检测的目的是确认洁净室内温湿度在控制范围内， 对颗粒物控制有没有影响，因此温湿度检测属于洁净室检测的第三级测试。然而，由于大多数洁净室也是环境控制室，温湿度通常是一起测量的。温湿度测量可分为一般测量和高级测量。一般测量仅是温湿度的实时数据，通常为单一检测数据，适用于温湿度要求较低的地方。高级测量是在测量点长期记录温湿度，以观察温湿度随时间的变化，确认湿度是否得到控制。高级测量适用于温湿度要求高的地方。
温湿度检测设备
常见的温湿度设备有电子温湿度计和镜面冷凝光学式湿度计。一般测量和高级测量中使用的仪器的精度是相同的。温测量范围为0-100℃，精度为±0.2℃。湿度测量范围为10%-95%，精度为±2%。一般测量要求温的显示值可以显示0.1的变化，湿度的显示值可以显示1%的变化。进阶测量要求温度显示值能显示0.05℃的变化，湿度的显示值能显示0.1%的变化。如果测试仪器需要校准，且仍在有效期内，则应在测试前或提交报告时附上合格的校准文件。
温湿度检测程序
1.确认空调系统已经安装、测试、调整和平衡。空调系统的测试、调整和平衡可以平衡风量和水量，以满足设计要求，并为温湿度控制提供一个正确的运行环境，因此系统在测试前必须进行平衡检测。
2.根据洁净室的平面图，列出各种温湿度要求区域，使系统正常运行。该系统应在温湿度自动控制下运行至少24小时。
3.在温湿度检测时，每个房间至少有一个测试点，每个湿度控制区至少有一个测试点。例如，每个冷却盘管的控制范围应测量一点，测量高度为(高架)地板以上1.00米。
4.将温湿度传感器放在相同的位置，并在稳定后开始记录。